Resumo:
En este trabajo se analizaron las características de películas delgadas de óxido de cinc (ZnO) depositadas sobre sustratos de vidrio comercial mediante la técnica spray-pyrolysis para ser empleadas en aplicaciones como sensores de gases o de luz UV. Para tal fin se estudiaron tres precursores diferentes; nitrato de cinc; cloruro de cinc y acetato de cinc. También se prepararon películas porosas, de mayor área superficial, se empleó polietilenglicol (PEG 400) como agente generador de poros a fin de analizar su efecto sobre la performance. Se llevó a cabo la caracterización de las películas fabricadas en busca de optimizar la respuesta eléctrica. Asimismo, todas las películas fueron caracterizadas mediante difracción de rayos X (DRX), perfilometría, microscopía electrónica de barrido por emisión de campo (FE-SEM-EDS), respuesta eléctrica a la exposición de CO2 y respuesta UV. Los resultados obtenidos indican que las películas depositadas empleando nitrato de cinc sin la adición de PEG 400 y de mayor espesor, demostraron la mejor respuesta como sensores de CO2 y la mayor sensibilidad a luz UV. Se propuso el diseño de un detector de gas basado en películas de ZnO que consiste en un elemento sensor sobre sustrato de silicio y un circuito electrónico específico. Se sugiere integrar este sistema con una interfase de visualización para presentar los datos de manera accesible.
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